Η εφαρμογή φίλτρων συμπιεσμένου αέρα στη βιομηχανία ημιαγωγών

Η εφαρμογή φίλτρων πεπιεσμένου αέρα στη βιομηχανία ημιαγωγών είναι ζωτικής σημασίας, και αντικατοπτρίζεται κυρίως στη διασφάλιση της καθαριότητας του περιβάλλοντος παραγωγής, στον έλεγχο της θερμοκρασίας και της υγρασίας, στην πρόληψη διαρροών επιβλαβών αερίων και στην κάλυψη της ζήτησης αερίου του εξοπλισμού.

Διασφάλιση της καθαριότητας του περιβάλλοντος παραγωγής

Η διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών είναι εξαιρετικά εξελιγμένη και πολύπλοκη. Ακόμη και μικροσκοπικά σωματίδια σκόνης ή ρύπων μπορεί να προκαλέσουν βραχυκυκλώματα, ελαττώματα ή ακόμη και απόρριψη τσιπ.

Το εργαστήριο παραγωγής ημιαγωγών πρέπει να διατηρεί ένα εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον αέρα και τα φίλτρα αέρα είναι βασικός εξοπλισμός για την επίτευξη αυτού του στόχου. Σε όλες τις πτυχές της παραγωγής ημιαγωγών, όπως η φωτολιθογραφία, η χάραξη και η εναπόθεση λεπτής μεμβράνης, είναι απαραίτητο να ελέγχονται αυστηρά οι σωματιδιακοί ρύποι στον αέρα. Τα αποδοτικά φίλτρα αέρα μπορούν να απομακρύνουν αποτελεσματικά μικροσκοπικά σωματίδια, βακτήρια, ιούς, χημικούς ρύπους και οσμές στον αέρα. Μέσω της διήθησης στρώμα προς στρώμα, παρέχουν στο εργαστήριο παραγωγής εξαιρετικά καθαρό αέρα που πληροί τα πρότυπα, ελαχιστοποιώντας την παρέμβαση των ακαθαρσιών στη διαδικασία κατασκευής τσιπ.

Έλεγχος της θερμοκρασίας και της υγρασίας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας παραγωγής

Ένα σταθερό περιβάλλον θερμοκρασίας και υγρασίας έχει σημαντικό αντίκτυπο στην απόδοση των υλικών ημιαγωγών και στην ακρίβεια της διαδικασίας κατασκευής. Ένα καλό σύστημα φιλτραρίσματος αέρα μπορεί να συνεργαστεί με το σύστημα κλιματισμού για να διατηρήσει σταθερή θερμοκρασία και υγρασία στο εργαστήριο παραγωγής, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα και τη συνέπεια της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών.

Κάλυψη της ζήτησης αερίου του εξοπλισμού

· Καθαρισμός και ψύξη εξοπλισμού: Στη βιομηχανία ημιαγωγών, ο πεπιεσμένος αέρας χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό και την ψύξη του εξοπλισμού ημιαγωγών. Δεδομένου ότι τα μικροσκοπικά σωματίδια και η υγρασία στον πεπιεσμένο αέρα έχουν αφαιρεθεί, μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τον καθαρισμό της επιφάνειας και του εσωτερικού του εξοπλισμού. Επιπλέον, ο πεπιεσμένος αέρας μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για την ψύξη του εξοπλισμού ημιαγωγών για να εξασφαλιστεί η κανονική λειτουργία του και να παραταθεί η διάρκεια ζωής του.

· Έλεγχος των περιβαλλοντικών συνθηκών: Με την εισαγωγή πεπιεσμένου αέρα στο περιβάλλον κατασκευής, η θερμοκρασία και η υγρασία μπορούν να ρυθμιστούν για τη διατήρηση σταθερών συνθηκών εργασίας. Επιπλέον, ο πεπιεσμένος αέρας μπορεί επίσης να εμποδίσει τη σκόνη και τις ακαθαρσίες σχηματίζοντας ροή αέρα για να διατηρηθεί καθαρό το περιβάλλον κατασκευής.

· Παροχή πηγής ενέργειας: Απαιτείται μεγάλη ποσότητα πεπιεσμένου αέρα στην παραγωγή ημιαγωγών για την παροχή πηγής ενέργειας για την κίνηση ρομποτικών βραχιόνων, ταινιών μεταφοράς, ψυγείων, ηλεκτρικού εξοπλισμού και τη μεταφορά χημικών ουσιών. Επιπλέον, ο πεπιεσμένος αέρας μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για τη μεταφορά χημικών ουσιών, υλικών ημιαγωγών κ.λπ. σε προκαθορισμένες τοποθεσίες κατά τη διάρκεια της διαδικασίας παραγωγής μέσω πνευματικής τεχνολογίας μεταφοράς για τη βελτίωση της αποδοτικότητας της παραγωγής.